五(二甲基氨基)钽(V) | 19824-59-0
可作为TaN的前驱体,具有优良的导电性能,可用于半导体器件的电极部分的制造;在半导体后段工艺中作为扩散阻挡层使用;也可用于光伏电池正极的金属化;在45nm以下CMOS工艺中作为金属栅极材料前驱体使用;
可用于制备Ta2O5,具有较高的介电常数,可作为动态随机存储器(DRAM)、减反膜、高温阻抗、气敏传感器、电容器、高折射低色散特种光学玻璃、航空领域的高温特种陶瓷的关键材料;
可选择性催化合成更高立体选择性的手性药物;
在酶催化反应中提供额外的氧源,提高反应效率和稳定性;
作为新型载体材料,可调节催化剂的理化性质,实现药物的传递和释放。
可用于制备Ta2O5,具有较高的介电常数,可作为动态随机存储器(DRAM)、减反膜、高温阻抗、气敏传感器、电容器、高折射低色散特种光学玻璃、航空领域的高温特种陶瓷的关键材料;
可选择性催化合成更高立体选择性的手性药物;
在酶催化反应中提供额外的氧源,提高反应效率和稳定性;
作为新型载体材料,可调节催化剂的理化性质,实现药物的传递和释放。
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中文名:五(二甲基氨基)钽(V)
外文名:Pentakis (dimethylamino) tantalum
化学式:Ta[N(CH3)2]5
分子量:401.33
CAS号:19824-59-0
熔点:100ºC
沸点:6.1ºC
外观:橙色晶体
存储条件:室温保存