四(二甲基氨基)锆(IV) | 19756-04-8
锆类氨基金属化合物主要用于CVD、ALD、等离子体增强原子层沉积(PEALD)工艺,是生产ZrO2的前驱体;
ZrO2在45nm晶体管的制备中代替二氧化硅,可以显著减少漏电量,还是COMS和动态存储的高k绝缘材料,是目前解决动态存储和高清显示技术难题的最优选材料之一;
可作阻变存储器的介质层前驱体;
可作锂离子电池正极包覆沉积前驱体。
ZrO2在45nm晶体管的制备中代替二氧化硅,可以显著减少漏电量,还是COMS和动态存储的高k绝缘材料,是目前解决动态存储和高清显示技术难题的最优选材料之一;
可作阻变存储器的介质层前驱体;
可作锂离子电池正极包覆沉积前驱体。
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中文名:四(二甲基氨基)锆(IV)
外文名:Tetrakis (dimethylamino) zirconium (IV)
化学式:Zr[N(CH3)2]4
分子量:267.53
CAS号:19756-04-8
熔点:57-60 °C
沸点:80°C闪点: >65℃
外观:白色粉末
存储条件:2-8°C