四(二乙基氨基)锆(IV) | 13801-49-5
锆类氨基金属化合物主要用于CVD、ALD、等离子体增强原子层沉积(PEALD)工艺，是生产ZrO2的前驱体；
ZrO2在45nm晶体管的制备中代替二氧化硅，可以显著减少漏电量，还是COMS和动态存储的高k绝缘材料，是目前解决动态存储和高清显示技术难题的最优选材料之一；
可作阻变存储器的介质层前驱体；
可作锂离子电池正极包覆沉积前驱体。
ZrO2在45nm晶体管的制备中代替二氧化硅，可以显著减少漏电量，还是COMS和动态存储的高k绝缘材料，是目前解决动态存储和高清显示技术难题的最优选材料之一；
可作阻变存储器的介质层前驱体；
可作锂离子电池正极包覆沉积前驱体。
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中文名：四(二乙基氨基)锆(IV)
外文名：Tetrakis (diethylamido) zirconium (IV)
化学式：Zr[N(CH2CH3)2]4
分子量：164.36
CAS号：13801-49-5
熔点：<-20 °C
沸点：128 °C闪点:：54 °F
密度：1.026 g/mL at 25 °C (lit.)
外观：黄色液体
存储条件：2-8°C
