四(甲乙基氨基)锆(IV) | 175923-04-3
锆类氨基金属化合物主要用于CVD、ALD、等离子体增强原子层沉积(PEALD)工艺，是生产ZrO2的前驱体；
ZrO2在45nm晶体管的制备中代替二氧化硅，可以显著减少漏电量，还是COMS和动态存储的高k绝缘材料，是目前解决动态存储和高清显示技术难题的最优选材料之一；
可作阻变存储器的介质层前驱体；
可作锂离子电池正极包覆沉积前驱体。
ZrO2在45nm晶体管的制备中代替二氧化硅，可以显著减少漏电量，还是COMS和动态存储的高k绝缘材料，是目前解决动态存储和高清显示技术难题的最优选材料之一；
可作阻变存储器的介质层前驱体；
可作锂离子电池正极包覆沉积前驱体。
-
中文名：四(甲乙基氨基)锆(IV)
外文名：Tetrakis (ethylmethylamino) zirconium (IV)
化学式：Zr[N(CH3)(C2H5)]4
分子量：323.63
CAS号：175923-04-3
沸点：81 °C闪点：50 °F
密度：1.049 g/mL at 25 °C(lit.)
外观：黄色液体
存储条件：安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
